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設備概要
SPP-600S 是半自動通用拋光型設備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭，可實現高的吞吐量。它具有*特的軟件和觸摸屏，使用操作方便。
設備構成
1. 拋光頭：
一個定盤，兩個拋光頭同時工作，可實現高的吞吐量；
可獨立編程（包括轉速）并單獨控制每個拋光頭；
夾緊機構為真空吸附固定或利用晶圓表面張力進行固定；
裝備有保護圈以*均勻性和邊緣輪廓；拋光壓力基于實時監控；
具有擺動功能；
2. 定盤：水冷系統可*穩定運行
3. 修整主軸：裝有*修整頭；修整壓力靠頭的自重；
4. 外殼：全密封；安全互鎖門；
5. 觸摸屏：9.5 寸全彩屏；GUI 操作面板；4 級程序控制；
6. 供液單元：使用羅拉泵可實現穩定供液。
設備指標
項目 | 參數 |
適用晶圓尺寸，厚度晶圓尺寸 | 3 - 8 英寸 |
設備尺寸及重量尺寸 | 1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H) |
廠務條件電力要求 | 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz |
壓縮空氣壓力 | ≧5.0 Kg/cm2 |
去離子水壓力 | 1.0-1.5Kg/cm2 |
去離子水流量 | 5 升/分鐘 |
排氣量 | 3m3/分鐘 |
冷卻水（真空泵用） | 壓力：2.0Kg/cm2 |
流量 | 大于3 升/分鐘 |
冷卻水（拋光定盤冷 卻系統用），壓力 | 2.0Kg/cm2 |
流量 | 大于3 升/分鐘 |
