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岡本OKAMOTO GNX300B晶圓研磨機
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所屬類別：岡本半導體設備
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  • 產品概述

設備特點

GNX300B擁有BG研磨專利技術。

日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎

主軸機械精度可調

岡本自產鑄金一體化結構，不易老化

潤滑系統有完善防護，避免異物進入造成磨損

適用晶圓尺寸：6”、8”、12”     最大晶圓厚度： 1000μm

可切換全自動、半自動操作模式

17 寸觸控操作與監控屏，監控氣壓、電流、水流、厚度等

研磨耗材損耗小，加工成本低廉

研磨硅屑細小，沖洗更干凈


設備規格

項目

參數

規格

GNX300B

最大加工直徑

Ф300㎜

主軸轉速范圍

0~3000rpm

主軸驅動電機功率

5.5kW/4kW

研磨輪尺寸

Ф300㎜

設備整重

5700kg


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